一种适用于透射式光学元件光程均匀性测量的检测装置Bet365 - Online Sports Betting

2025-06-08 02:35:31

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　　[0003]目前主流的测量光学元件光程均匀性的方法有两种,一种是通过使用相位干涉仪直接测量光学元件透射波前,这种方法的优点是通过单幅采样就可以测量整个光学元件的透射波前,进而解算出测试口径内的光程差分布,具有测试效率高,易操作的优点。这种方法的不足之处是,(1)根据相位干涉仪的测量原理,由于对准失调的影响,其无法准确测出呈倾斜分布的光程差。(2)相位干涉仪受其自身测量范围的限制,目前最大测试口径只能达到800mm,并且设备及测量附件极其昂贵,并不适用于光学车间检测。(3)相位干涉仪测量精度易受环境及参考标准镜精度的影响,测量误差通常大于50nm。另一种方法是通过测量光学元件厚度分布的方法推算出光程差分布,这种方法需要采用具有纳米精度的位移传感器通过相对式测量法测量出光学元件的整体厚度变化,其主要的不足为,属于间接测量,需要保证被测光学元件材料有着极高的光学折射率均匀性。综上,现有的光学元件光程均匀性检测手段在一定程度上已经无法满足日益增长的高精度、大尺度的测量需求。

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